يمكن معايرة الغازات كطريقة لتعيين كمية أحد المتفاعلات عن طريق إضافة زائدة من غاز آخر يعمل كمعاير. وأكثر تلك العمليات متعلق بتعيين كمية الأوزون ، وتتم بإضافة غاز أكسيد النتروجين طبقا للتفاعل:
O3 + NO → O2 + NO2.[9][10]
عند اكتمال التفاعل نعين كمية المعاير الباقية وكمية الناتج (بطريقة مطيافية تحويل فورير Fourier transform spectroscopy) ، وعن طريقها نعين كمية الغاز المراد تعيينه.
تفضل طريقة معايرة الغاز عن طريقة تعيين كمية الغاز بواسطة المطيافية. أولا ، لا يعتمد القياس على طول المسار نظرا لتساوي مساري المعاير والناتج. وثانيا ، لا يعتمد القياس على تغير الامتصاصية كدالة لتركيز الغاز المراد تعيينه طبقل لقانون بير-لامبرت. وثالثا ، فهي مناسبة للعينات التي تتداخل فيها طول الموجات للغازات المستخدمة في التحليل.[11]